研究・制作業績システム - 豊田　光紀 | 東京工芸大学

（最終更新日 : 2025-03-27 10:13:54）

トヨダ　ミツノリ TOYODA Mitsunori
豊田　光紀

所属東京工芸大学工学部工学科　電気電子コース

職名教授

学歴
～2007/12/01	東北大学大学院工学研究科応用物理学専攻博士博士（工学）
1997/04/01～1999/03/31	東北大学大学院工学研究科応用物理学専攻修士修了修士（工学）
1993/04/01～1997/03/31	東北大学工学部応用物理学科卒業学士（工学）

職歴
1999/04/01 ～ 2003/12/01	株式会社ニコンその他
1999/04/01 ～	株式会社ニコン光学設計部正社員
2003/12/01 ～ 2005/03/01	東北大学多元物質科学研究所研究支援者
2003/12/01 ～	東北大学多元物質科学研究所（研究支援者）
2005/04/01 ～	東北大学多元物質科学研究所助手
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所属学会
～	応用物理学会

現在の専門分野
応用物理学, 軟X線および極紫外(EUV)領域の結像光学

著書・論文歴
論文	Zero-Order-Free, Multilayer-Coated Laminar Grating in the 31 nm Region Jpn. J. Appl. Phys. Pt. 1, 37 (1998),2066-2067頁 (共著) 1998/04/01
論文	Zero-order-free, multilayer-coated laminar grating in the 31 nm region 37 (4A),2066-2067頁 (共著) 1998/04/01
論文	A Soft-X-Ray Imaging Microscope with a Multilayer-Coated Schwarzschild Objective: Imaging Tests Jpn. J. Appl. Phys. Pt. 1, 39,1926-1929頁 (共著) 2000/04/01
論文	A soft-X-ray imaging microscope with a multilayer-coated Schwarzschild objective: Imaging tests 39 (4A),1926-1929頁 (共著) 2000/04/01
論文	A soft-X-ray imaging microscope with multilayer-coated Schwarzschild optics 507,363-366頁 (共著) 2000/04/01
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学会発表
2024/05/26	Imaging Objective for Higher Energy Region (Fraunhofer IISB Lithography Simulation Workshop (Behringersmühle, Germany))
2024/03/24	広帯域光源を用いた透過型共通光路位相シフト干渉顕微鏡(口頭発表) (第71回応用物理学会春季学術講演会(東京都市大学))
2023/11/28	高倍率EUV対物ミラーの100pm精度波面制御と高エネルギー領域への展開(口頭発表：招待講演) (X線・EUV結像光学のフロンティア2023, OPJ2023 (北大))
2023/10/13	Design Study of Soft X-Ray Aplanat with Four Multilayer Mirrors in Grazing Incidence Configuration(口頭発表) (The International Conference on　Physics of X-Ray and Neutron Multilayer Structures 2023 (Himeji, Japan))
2023/10/11	High Irradiance Illuminator for Transmission Extreme Ultraviolet Microscopy(ポスター発表) (The International Conference on　Physics of X-Ray and Neutron Multilayer Structures 2023 (Himeji, Japan))
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講師・講演
2019/07/15	群馬大学大学院
2018/10/20	本学 (本学)

研究課題・受託研究・科研費
	JST研究シーズ探索プログラム:｢30nm分解能で実時間観測できる軟X線高倍率顕微鏡の開発｣競争的資金等の外部資金による研究競争的資金採択（文部科学省）
	NEDO再委託研究:｢EUVマスクブランク欠陥検査技術開発(EUV顕微鏡観察技術の開発)｣競争的資金等の外部資金による研究競争的資金採択（その他官公庁）
	【大学記入分】科研費:基盤研究(A) 円偏光フェムト秒コヒーレント軟X線の発生と超高速スピンダイナミクスへの展開科学研究費補助金採択
	【大学記入分】科研費:基盤研究(B) ((H30)レーザープラズマ光源EUV顕微鏡の開発と広視野マルチスケール観察への応用科学研究費補助金採択
	【大学記入分】科研費:基盤研究(B) (H29) レーザープラズマ光源EUV顕微鏡の開発と広視野マルチスケール観察への応用科学研究費補助金採択
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受賞学術賞
2014/12/01	科学計測振興賞(東北大学)
2007/11/01	光設計奨励賞(日本光学会)

社会における活動
2020/09/09	2020年第81回応用物理学会秋季術講演会
2020/03/12 ～ 2020/03/15	2020年第67回応用物理学会春季学術講演会
2019/09/18 ～ 2019/09/21	2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会
2019/07/15 ～ 2019/07/16	群馬大学大学院
2019/02/07	東北大学工学部・工学研究科
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委員会・協会等
2019/02/07 ～	東北大学工学部・工学研究科委員

取得特許
	オプティカルインテグレータ、照明光学装置、露光装置および露光方法（特許第4207478号）
	回折光学装置、屈折光学装置、照明光学装置、露光装置および露光方法（特許第4106701号）
	光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法（特許第4976015号）
	照度分布の評価方法、光学部材の製造方法、照度測定装置、露光装置および露光方法（特許第4599632号）
	照明光学装置、露光装置、露光方法、およびマイクロデバイスの製造方法（特許第4976094号）
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ホームページ
https://www.t-kougei.ac.jp/gakubu/engineering/staff/#toyoda

科研費研究者番号
40375168