研究・制作業績システム
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ヤスダ ヨウジ
YASUDA Yoji
安田 洋司
所属
東京工芸大学 工学部 工学科
職名
准教授
研究課題・受託研究・科研費
ITO代替透明導電膜の成膜プロセスの開発と応用 個人研究
ガスクロミック特性を有する機能性薄膜の微細構造制御に関する研究 個人研究
酸化物薄膜の太陽電池用電極膜への応用に関する研究 個人研究
酸化物薄膜の低ダメージ高速堆積技術の開発とメカニズムの解明 科学研究費補助金採択
斜め入射堆積法を利用した高性能光触媒薄膜製作技術の開発 個人研究
有機ELデバイス作成用低ダメージスパッタ成膜技術の開発 個人研究
2021/04/01 ~ 2024/03/31
酸化物薄膜の低ダメージ高速堆積技術の開発とメカニズムの解明 科学研究費助成事業 基盤研究(C)
2015/04/01 ~ 2019/03/31
高性能光触媒酸化チタン薄膜作製のための酸素ラジカル源利用斜め入射高速堆積法の開発 科学研究費助成事業 基盤研究(C)