研究・制作業績システム - 豊田　光紀

トヨダ　ミツノリ TOYODA Mitsunori
豊田　光紀

所属東京工芸大学工学部工学科

職名教授

取得特許
	オプティカルインテグレータ、照明光学装置、露光装置および露光方法（特許第4207478号）
	回折光学装置、屈折光学装置、照明光学装置、露光装置および露光方法（特許第4106701号）
	光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法（特許第4976015号）
	照度分布の評価方法、光学部材の製造方法、照度測定装置、露光装置および露光方法（特許第4599632号）
	照明光学装置、露光装置、露光方法、およびマイクロデバイスの製造方法（特許第4976094号）
	照明光学装置、露光装置および露光方法（特許第4305611号）
	照明光学装置、露光装置および露光方法（特許第4324957号）
	投影光学装置（特許第4848510号）
	投影光学装置（特許第5388227号）
	反射型投影光学装置（特許第5489034号）
	露光装置、計測方法、露光方法、及びデバイス製造方法（特許第5360078号）
	露光装置及び露光方法並びにデバイス製造方法（特許第5136566号）
	露光装置及び露光方法並びにデバイス製造方法、計測装置（特許第4466300号）
2019/03/15	光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法（特許第6493325号）
2019/02/15	露光装置（特許第6477814号）
2017/12/15	露光装置及びデバイス製造方法（特許第6256281号）
2017/06/23	光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法（特許第6160666号）
2017/06/01	光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法（6160666）
2016/08/12	光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法（特許第5983689号）
2016/08/01	光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法（5983689）
2016/07/15	光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法（特許第5967132号）
2016/07/01	光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法（5967132）
2015/08/14	露光装置、計測方法、露光方法、及びデバイス製造方法（特許第5790572号）
2015/08/01	露光装置、計測方法、露光方法、及びデバイス製造方法（5790572）
2015/04/17	光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法（特許第5731591号）
2015/04/10	露光装置、計測方法、露光方法、及びデバイス製造方法（特許第5725137号）
2015/04/01	光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法（5731591）
2015/04/01	露光装置、計測方法、露光方法、及びデバイス製造方法（5725137）
2015/02/20	照明光学装置、露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法（特許第5696746号）
2015/02/01	照明光学装置、露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法（5696746）
2014/03/01	反射型投影光学装置（5489034）
2013/10/01	投影光学装置（5388227）
2012/04/01	光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法（4976015）
2012/04/01	照明光学装置、露光装置、露光方法、およびマイクロデバイスの製造方法（4976094）
2011/10/01	投影光学装置（4848510）
2010/10/01	回折光学装置、屈折光学装置、照明光学装置、露光装置および露光方法. （4599632）
2010/03/01	露光装置及び露光方法並びにデバイス製造方法、計測装置（4466300）
2009/06/01	照明光学装置、露光装置および露光方法（4324957）
2009/05/01	照明光学装置、露光装置および露光方法（4305611）
2008/10/01	オプティカルインテグレータ、照明光学装置、露光装置および露光方法（4207478）
2008/04/01	回折光学装置、屈折光学装置、照明光学装置、露光装置および露光方法（4106701）