研究・制作業績システム
English
トヨダ ミツノリ
TOYODA Mitsunori
豊田 光紀
所属
東京工芸大学 工学部 工学科 電気電子コース
職名
教授
学会発表
2024/05/26
Imaging Objective for Higher Energy Region (Fraunhofer IISB Lithography Simulation Workshop (Behringersmühle, Germany))
2024/03/24
広帯域光源を用いた透過型共通光路位相シフト干渉顕微鏡(口頭発表) (第71回応用物理学会春季学術講演会(東京都市大学))
2023/11/28
高倍率EUV対物ミラーの100pm精度波面制御と高エネルギー領域への展開(口頭発表：招待講演) (X線・EUV結像光学のフロンティア2023, OPJ2023 (北大))
2023/10/13
Design Study of Soft X-Ray Aplanat with Four Multilayer Mirrors in Grazing Incidence Configuration(口頭発表) (The International Conference on Physics of X-Ray and Neutron Multilayer Structures 2023 (Himeji, Japan))
2023/10/11
High Irradiance Illuminator for Transmission Extreme Ultraviolet Microscopy(ポスター発表) (The International Conference on Physics of X-Ray and Neutron Multilayer Structures 2023 (Himeji, Japan))
2023/10/11
Low-Cost Cleaning Method of Mo/Si Multilayer Soft X-ray Mirrors Using a Wet Process (ポスター発表) (The International Conference on Physics of X-Ray and Neutron Multilayer Structures 2023 (Himeji, Japan))
2023/10/11
Removal of Mo/Si Multilayer Coatings on Fused Silica Substrates by Wet Chemical Etching(ポスター発表) (The International Conference on Physics of X-Ray and Neutron Multilayer Structures 2023 (Himeji, Japan))
2023/09/19
４面斜入射多層膜ミラーによるaplanatic対物系の 検討(口頭発表) (第84回応用物理学会秋季学術講演会(熊本城ホール))
2023/06/22
デフォーカス収差の直交展開式の解析的導出と 干渉計測の補正精度向上(口頭発表) (第48回光学シンポジウム(東大生産研))
2023/03/17
レーザプラズマ光源の輝度分布を考慮したEUV照明系照度の精密評価 (第70回応用物理学会春季学術講演会)
2023/03/17
石英基板に成膜したMo／SＩ多層膜ミラーの精密除去法 (第70回応用物理学会春季学術講演会)
2022/12/24
極紫外顕微対物ミラーのサブnm精度波面収差補正 (第30回複合材料研究会)
2022/11/10
Diffraction-limited imaging by extreme ultraviolet multilayer mirror objective and its application to staining-free observation of polymer blend samples (seminaires generaux du Laboratoire Charles Fabry)
2022/09/21
レーザープラズマEUV反射率計の絶対値補正 (第83回応用物理学会秋季学術講演会)
2022/09/21
極紫外顕微鏡用の高倍率対物ミラーで生じるコマ収差の精密補正 (第83回応用物理学会秋季学術講演会)
2022/07/16
点回析干渉計による波面計測再現性の評価 (第29回複合材料研究会)
2022/07/16
透過型極紫外顕微鏡の開発とポリマー試料観察への展開 (第29回複合材料研究会)
2022/04/27
High irradiance illuminator for transmission extreme ultraviolet microscopy (Photomask Japan 2022)